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為什么高純氣體中的標準物質(zhì)有嚴格要求
來源:
nol-sol.com | 發(fā)布時間:2023年05月15日
為什么高純氣體中的標準物質(zhì)有嚴格要求
在高純氣體標準物質(zhì)研制中對微量或痕量雜質(zhì)的準.確監(jiān)測,往往是研制工作中的難點。高純氣體是保證半導(dǎo)體芯片、大規(guī)模集成電路生產(chǎn)質(zhì)量的關(guān)鍵因素,新疆高純氣體廠家表示高純氣體的生產(chǎn)要受到眾多因素的影響,從高純氣體氦氣稱量配氣到使用,高純氣體氦氣供應(yīng)商分享標準物質(zhì)有嚴格要求,它要流經(jīng)很多管道,接觸許多配件、控制裝置和凈化設(shè)備,在長期運轉(zhuǎn)過程中,受配件、裝置、材質(zhì)的影響,局部可能發(fā)生泄漏或滲漏,均會造成高純氣體的污染。在制備高純氣體標準物質(zhì)的過程中,同樣也受到上述各種因素的影響。因此,對高純氣體純度的監(jiān)測,是保證生產(chǎn)過程產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
為保證高純氣體標準物質(zhì)的質(zhì)量,須配備高素質(zhì)的分析人員進行檢測和分析工作,其雜質(zhì)含量應(yīng)保證控制在10-6、10-9、10-12數(shù)量級。對從事高純氣體質(zhì)量監(jiān)測的實驗室應(yīng)當配置高精度的分析儀器,并且每年要進行計量認證,雖然投資較高,但對保證高純氣體的質(zhì)量,提供準.確可靠的分析數(shù)據(jù)是必要的。
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