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?氬氣在等離子清洗機(jī)中應(yīng)用優(yōu)勢
來源:
nol-sol.com | 發(fā)布時間:2022年09月16日
氬氣在等離子清洗機(jī)中應(yīng)用優(yōu)勢
我們了解到氬氣用在離子清洗機(jī)中主要作用有表面清潔,表面粗化,活性輔助等,它在這些應(yīng)用具有避免電子器件氧化,便于區(qū)分等的優(yōu)勢,但是新疆高純氣體廠家這里要提醒大家在等離子清洗機(jī)種使用的氬氣在質(zhì)量上是需要有保障的.
1、避免電子器件氧化
氬氣是一種惰性氣體,電離后產(chǎn)生的離子體不會與基材發(fā)生化學(xué)反應(yīng),在等離子清洗中主要被應(yīng)用于基材表面的物理清洗及表面粗化,較大的特點就是在表面清洗中不會造成精密電子器件的表面氧化。正因如此,氬等離子清洗機(jī)在半導(dǎo)體、微電子、晶圓制造等行業(yè)被廣泛應(yīng)用。
2、便于區(qū)分
氬氣在真空等離子清洗機(jī)中被電離所產(chǎn)生的等離子體呈暗紅色。在相同的放電環(huán)境下,氫氣和氮氣所產(chǎn)生的等離子體顏色都是呈紅色,但氬等離子體的亮度會低于氮氣且高于氫氣,還是比較好區(qū)分的。
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